多功能真空校准装置

　　为满足航天器热试验常用真空计及标准漏孔的校准需要，研制了多功能真空校准装置。该装置可用于进行热偶真空计、压阻规、电容薄膜真空规、潘宁规、热阴极电离规等真空测量传感器的校准，同时也可以用于渗透型真空漏孔的校准。装置选用静态比对法、动态比对法、质谱比对法设计建成，真空校准范围为1.33×10⁵ Pa～1×10^-4 Pa，真空漏孔校准范围为5×10^-5～5×10^-9 Pa·m³/s，装置智能化水平高，操作简便，适合真空规管的批量校准。

　　随着我国空间科学技术的发展，真空测量技术也得到长足进步，已广泛应用在航空航天、电气电子、石油化工等行业。特别是我国载人飞船、登月工程、火星探测等一系列国防新领域的飞速发展，对真空测量提出了更高的要求，相应的高精度、高可靠性的真空计量校准需求也应运而生。

　　传统的实验室真空校准装置大多系统设计复杂，研制费用高，校准耗时长，无法满足航天器研制任务的需要。本文研制了一套多功能真空校准装置，该装置选用静态比对法、动态比对法以及质谱比对法的校准原理研制而成，通过设计不同量程的电容薄膜规组成标准规组的方法，解决了单一标准规在满量程范围内精度偏差的问题。装置具有操作简易，自动化程度高，可批量校准等特点，装置校准范围既覆盖了航天领域主要真空校准需求，又具有研制成本低，综合性价比高的优点。

　　1、校准装置设计组成

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　　2、多功能真空校准装置的校准原理方法

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　　3、多功能真空校准装置的主要性能指标

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　　4、结束语

　　经实际测试，本装置各项性能参数优于设计指标，其中高真空校准下游室的极限真空度比设计指标提高了一个数量级，真空校准范围也有一定的拓宽，选用的无油多级真空抽气系统解决了装置长时间工作可凝物污染的问题。多功能真空校准装置因其简便易于操作，可大批量校准等特点，在提高航天设备可靠性和产品质量方面起到了很好的促进作用，为我国国防科学技术的发展提供了基础设施保障。