如何设计含灰尘抽气系统的真空泵配置

含尘抽气系统真空泵的配置和操作方法

常用的真空系统除尘过滤方式及过滤装置

箔材真空退火炉的研制

介绍了箔材真空退火设备的技术性能及结构特点。应用磁性流体密封技术解决了高真空动密封问题，成功研制了耐高温铸钢结构式料架，解决了高温状态材料热处理校型等技术难点。

超高真空电子束蒸发系统ULS400的技术改造及新应用

主要介绍安装在超高真空电子束蒸发系统ULS400中———自行设计、研制的恒温控制系统以及它在纳米科技领域发挥出的新作用。

PEV压电晶体阀流量率标定试验

介绍了在核聚变装置中广泛应用的压电晶体阀的工作原理，并通过搭建试验平台来准确计算试验条件下的压电晶体阀的气体流量率。

EAST水平硬X射线诊断单元研究

设计制作了用于EAST托卡马克装置水平窗口的基于CdTe探头的硬X 射线诊断单元。

HL-2A中性束注入器送气实验

为满足HL-2A中性束加热的需求，我们为HL-2A的NBI注入器研制了脉冲送气回路及其控制系统，系统的核心流量控制部件为PEV-1压电晶体阀。

正压漏孔校准装置的优化设计

针对目前正压漏孔校准工作中存在的测量下限指标低、测量不确定度大等问题，提出了正压漏孔校准装置的优化设计方法。

上海光源储存环的真空系统

上海光源储存环真空系统已于2007 年底建成并开始运行。这个真空系统采用了双室结构的薄壁不锈钢真空室,采用合理的激活NEG泵和升华钛丝的工艺程序,提供了强大的抽速和容量。真空预调试时各段真空室内的极限真空都达到

上海光源储存环不锈钢真空室

上海光源采用了不锈钢真空室,其主要理由是加工铝合金真空 室时要用数控床切削掉约一半的材料,而加工壁薄不锈钢真空室几乎没有材料的损失。因此,经费大量节省和加工周期大大缩短。但结构复杂的薄壁不锈钢真空室的尺

防污染真空抽气系统

防污染真空抽气系统就可以对有害气体（蒸汽）和液体进行回收，并将对环境的污染降到最低。系统由罗茨泵、大气喷射泵、液环泵组成的真空机组和环液冷却器、排气冷凝器、阀门等配套而成。系统必须在低于物料的温度下运

汽轮机旁路系统与阀门选用

介绍了我国典型的内汽轮机旁路系统结构,分析了汽轮机旁路系统中阀门的安装、调试及故障排除。

定容式流导法微流量校准装置

定容式流导法微流量校准装置是气体微流量的计量标准，可采用定容法和流导法对气体微流进行校准，校准范围为(5×10-2~5×10-11)Pa·m3/s,合成标准不确定度为.56%~1.7%。

固定流导法校准真空漏孔方法研究

固定流导法采用的是分压力侧量技术，对质谱分析室的漏放气率的指标要求不高。通过实验得到四极质谱计的非线性引起的侧量误差可达38%，在具体校准过程中能够很好调节稳压室中的气体压力，使通过小孔的气体流量与待校

恒压式气体微流量计的测控系统研制

恒压式气体微流量计的测控系统是在工控机控制下，采用电容薄膜规、光电编码器、铂电阻温度计等高精度传感器测量出变容室内气体的压力、体积变化率、温度等参量；

小孔流导测量方法的研究

在分子流条件下，给出了定容法和恒压法测量流导的方法量校准装置和恒压法气体微流量校准装置分别对小孔流导进行了测量1.0% 。

分压强质谱计校准装置的研制

分压强质谱计校准装置用于质谱计的校准。本文介绍了分压强质谱计校准装置的结构、工作原理及分压强测量方法，并给出了分压强测量的不确定度分析。

恒压式气体微流量计测控系统的设计

介绍了恒压式气体微流量计的测量原理及其测控系统的设计方案, 对压力测量、变容室气体温度测量、变容室体积变化率测量、恒压控制等关键技术进行了详细说明。该测控系统的应用可以使气体微流量计的测量范围和不确定度

校准气体漏率的正压漏孔校准装置结构组成

正压漏孔是在给定温度和入口压力的条件下，正压漏孔校准装置由定容法校准系统和定量气体动态比较法校准系统两部分组成。

一种方便高效的真空规校准装置的设计

讲述了为解决一般采用比对法校准真空规的装置所存在的一次校准真空规数量较少，且由于校准表和被校表处在不同的抽空位置造成的读数误差等问题，所设计出的一套方便高效的真空规校准装置。