储气罐和维持泵的选择与作用

    由于扩散泵和油增压泵起动时间长，在周期性操作的设备中，当装料和卸料的时候，为了缩短工作周期而不切断扩散泵和油增压泵的电源，将高真空阀和前级管道阀关闭，使主泵处于正常工作状态。由于阀门等总会有极少量的漏气和表面放气，经过一段时间主泵出口压强增加，若超过主泵的最大排气压强而返流到泵中，则会使油蒸气氧化。

    为了解决这个问题，一个办法是用前级泵继续抽除主泵排出的气体，但此时主泵内排出的气体量很小，出现前级泵大马拉小车的现象。浪费许多能源。为此可采用另一种办法，停止前级泵工作，关闭前级管道阀门，在主泵出口处设置维持泵或储气罐，这就可以保证即能排出主泵内的气体，又可以节省能源消耗。储气罐不能作得很大，它只能用在以扩散泵为主泵的小型系统上，而维持泵可用在大型主泵的系统上。储气罐的另一个作用是某些较小应用设备，在其工艺过程中不允许有振动，即在工艺进行时必须停止前级泵的工作，这时要用储气罐来储存在工艺过程中主泵所排出的气体，以保证工艺过程中被处理工件的质量。

    用于防振目的而设置储气罐的容积的计算是根据在机械泵停止工作这段时间里，扩散泵从真空室中排出的气体全部排到储气罐中，引起罐中压强增高不超过扩散泵出口的最大排气压强来计算的。

    用于节能和缩短工作周期为目的的储气罐的容积，其计算办法基于如下考虑：当前级泵停止工作时，而扩散泵仍处于正常工作状态，这时扩散泵将气体排到储气罐中。此时气体来源是扩散泵入口上的高真空阀门到扩散泵出口的前级管道阀之区间的漏气流量和这一区间的表面放气流量，这些气流量引起扩散泵出口压强增高，但不能超过扩散泵的最大排气压强。

    使用维持泵的目的是节能，它设置在油蒸气流泵的出口处，一般与前级机械泵并联。通常维持泵与前级泵是同一类型的泵。经验表明，维持泵的抽速大小可以是前级泵抽速的十分之一。可见使用维持泵即能大量节约能源，又能减小环境噪音。