几种典型的高真空系统图

2008-10-13 鬼马 真空技术网整理

    这种系统应用也比较广泛。它的工作压强范围在6.67×10-2～1.33×10-3Pa。如镀膜机、电子轰击炉和部分电阻炉等都采用高真空系统。

    ①扩散泵串联机械泵的真空系统。该系统一般用在工作时放气量较小的应用设备上。系统结构简单，工作可靠。成本低。缺点是系统起动慢，预抽气时间长。扩散泵油蒸气容易返流到真空室中去。

    ②扩散泵串联油增压泵，再串联机械泵的真空系统，该系统起动慢。由于有中间油增压泵存在，故预抽气时间短些。

    ③扩散泵串联罗茨泵，再串联机械泵的真空系统，它起动慢，但预抽气时间短(因为中间有罗茨泵)。图16是由三个泵串联组成的高真空系统。

采用扩散泵的三个泵串联的高真空系统图

图16：采用扩散泵的三个泵串联的高真空系统图