几种典型的超高真空系统图

    ①用扩散泵和钛泵并联为主泵，扩散泵单独串联前级机械泵的真空系统。图17所示，称为钠灯超高真空封接炉的系统。可以达到极限真空度为1.33×10^-6Pa。

图17：钠灯封接用的超高真空系统图

    ②由扩散泵串联扩散泵(中间泵)，再串联机械泵的真空系统。如图18，是一个超高真空系统和设备的结构图。主泵是一个水银扩散泵，泵顶有冷却挡板和液氮冷阱，中间泵也是水银扩散泵。在中间泵和前级机械泵之间设有油蒸气捕集器。并设有各种单独的加热器，烘烤真空室和主泵顶部及捕集器。该系统的特点是能获得超高真空，并能稳定工作。

图18：超高真空系统图

    ③主泵为分子泵串联机械泵的真空系统，该种超高真空系统，由于机械泵有油存在，需要在机械泵入口管道上设置捕集器冷凝油蒸气。如果分子泵串联分子筛吸附泵(前级泵)，则构成了无油超高真空系统，该系统比较清洁。

    ④用钛泵或溅射离子泵做为主泵。并联或串联分子筛吸附泵(做为预真空泵)，构成无油超高真空系统．如图19所示。也可以用钛泵联接预真空机械泵，但此时机械泵的入口管道上要加油蒸气捕集器。

    ⑤用低温泵做为主泵，串联或并联分子筛吸附泵(预真空泵)，构成无油超高真空系统。同样也可以用机械泵做为预真空泵，在机械泵入口管道上设置油蒸气捕集器。