真空系统的最大可容许漏率

2008-11-05 真空技术网 真空技术网整理

  真空系统漏气是绝对的,不漏气是相对的在真空检漏技术中所指的“漏”是和最大容许漏率的概念联系在一起的。

qLmax≤1/10PwS (1)
式中Pw----系统工作压力
S----系统的有效抽速

  漏孔的气流特性

  气体流经漏孔的过程是很复杂的,可能包含有粘滞流、过渡流及分子流三种流动状态。主导流动状态与漏孔的几何尺寸、气体的种类、漏孔两端的压力及环境温度有关。设环境温度T=296K,入口压力p2=1.01×105Pa,出口压力。