升压法测量小孔流导装置与测量原理

         真空系统主要由抽气泵、真空容器和连接管道等组成,当抽气泵和真空容器确定之后,真空元件的设计决定着真空系统最终达到的性能指标。作为真空元件, 不管是导管、阀门还是小孔,要求大抽速的真空系统中流导值应尽可能大,使气流能顺利地通过;在气体流量计中,要求流导值固定不变, 以便流量计提供恒定的气体流量; 在分流法真空校准系统中,要求气体按确定的比例通过导管或小孔,从而满足真空校准的需求。因此,在真空系统设计和使用中, 需要计算或测量小孔的流导。

      小孔流导的大小不仅取决于小孔的大小、形状、厚度等几何尺寸,而且还取决于通过小孔的气体成分、气体的流动状态以及环境温度。在分子流条件下, 对于确定的气体来说, 小孔流导值是恒定的;当进气压力偏离分子流时,小孔的流导就随进气压力的不同而不同。对于形状规则的小孔的流导可以通过理论计算得到, 对于尺寸无法准确测量的小孔, 其流导只能通过实验的方法测量得到。测量方法通常有恒压法、定容法和线性真空规法。真空技术网介绍了用升压法测量小孔流导的方法。

升压法测量小孔流导装置

      测量流导的装置主要由气体流量计、定容室、抽气系统、测量系统等组成。利用气体等温膨胀的方法用1 L 标准容器7 测量定容室5 的容积, 在小孔流导测量过程中气体流量计1，向定容室提供已知的气体流量,电容薄膜真空计3 和磁悬浮转子真空计4 测量定容室中气体压力。为了保护待测小孔10 免受高压气体的冲击, 安装了旁通阀9,以防小孔的流导值发生变化。抽气系统14 抽出定容室以及连接管道等部位的气体。电离真空计11 用于监测抽气室的真空度, 以便判定各部分的真空度是否达到要求。升压法测量流导装置的工作原理如图1 所示。