真空测量的特点和真空计选择原则

2010-03-22 朱武合肥工业大学

真空测量的特点

　　（1）测量压力范围宽，为10⁵～ 10^-14 Pa。

　　（2）大部分真空计是间接测量，只有压力为10⁵～ 10Pa时，可直接测单位面积所受的力。但大多数真空测量的压力比上述要小，不能直接测量，应利用低压下气体的某些特性（如热传导、粘滞性和电离等）进行间接测量。

　　（3）多采用非电量电测技术。由于非电量电测技术具有灵敏度高、反应迅速、可实现自动和远距离测量，因此，大部分真空计采用这一方法。电子式真空计是由真空测量规管和电子测量电路（控制和指示单元）两部分组成。规管是敏感元件，它利用气体在低压下的某些特性将非电量的气体压力转变成电信号，再由测量电路将规管输出的电信号进行放大和显示。必要时，将输出信号送至自动记录仪和自动控制设备中，实现真空设备自动化。规管将非电量压力转变成电量所需的条件，由测量电路的控制单元提供。

　　（4）部分真空计的读数与气体种类和成分有关。所以测量时要特别注意被测量气体种类和成分，否则会造成很大误差。

　　（5）测量精度不高。在间接测量压力过程中，往往需要外加能量来协助。外加能量可能是热能、电能、机械能和放射能等。这样，在引入外加能量的同时，也不可避免地引进了测量误差。因此，真空测量仪表的精度比其他物理测量仪表要低。如真空测量基准仪表和标准仪表的不确定度为（2 ～ 10）×10^-2，工作仪表的测量误差在 ±20 ×10^-2以内就很好了。