振膜真空计的特点

2016-03-08 真空技术网 真空技术网整理

　　振膜真空计是粗真空和低真空测量中一种比较理想的真空计，其主要特点为：

　　1、测量范围宽，单个规管具有能测量6个数量级以上的动态压力范围，一般为104～10-1Pa，特殊结构的可达6×105～10-4Pa。

　　2、测量精度较高：1% ～2%。

　　3、不需要基准参考压力，即使突然暴露大气也不致于因冲击而损坏。

　　4、被测气体的种类对测量结果的影响很小，该计为全压计。

　　5、反应速度快，一般为30～60ms。

　　6、规管体积小，吸气和放气很少，并能近似作点压力的测量。

　　7、结构牢固，受外界环境温度和振动等条件影响小。