磁悬浮转子真空计的特点

2016-03-09 真空技术网 真空技术网整理

　　1、磁悬浮转子真空计与压缩式真空计同属于标准真空计，但其量程较宽(10-1～10-5 Pa)。用它做互校传递标准计，累积误差小、可靠性和重复性好。

　　2、磁悬浮转子真空计是无源器件，其规管内部没有高速电子和离子，没有热丝，不存在热及辐射效应。

　　3、转子规管体积小，吸气和放气现象完全可以忽略，不会影响被测空间的气体成分和压力，特别适用于不允许规管与气相彼此作用的场合。

　　4、磁悬浮转子真空计每测量一个点必须间隔半分钟，所以只能用于压力变化缓慢的真空室或密闭空间。

　　5、测量精度主要取决于转速ω的测量精度和温度T的恒定，因此测量时务必维持T恒定和采用较高精度的测速技术及仪表。