已知混合气体成分真空度的测量

2016-03-12 真空技术网 真空技术网整理

　　用热传导真空计对混合气体的真空系统测试时，如果知道混合气体中各种气体的体积百分数Vi(i=1、2、3、…、n)，就可用下式计算出混合气体对空气的相对灵敏度S，即

已知混合气体成分真空度的测量

　　式中：Vi———第i种气体的体积百分数；

　　Sri———第i种气体的相对灵敏度。

已知混合气体成分真空度的测量

　　在计算出Sr后，用上述方法测得的结果乘以Sr，便得到混合气体的实际真空度。