静态膨胀法真空标准装置期间核查方法
2009-05-29 赵光平 兰州物理研究所，真空低温技术与物理国家级重点实验室
静态膨胀法真空标准装置是国防真空计量最高标准，采用传递比较法对其进行期间核查。
传递比较法是用高一级测量标准和被核查的标准校准（检定）同一台稳定性好的传递标准或测量器具，其值分别是y0 和y，应满足式（1）
式中y 为被核查标准的校准结果；y0 为测量标准的校准结果；U 为被核查标准的扩展不确定度；uc 为被核查标准的合成标准不确定度。
高一级测量标准选用高精密活塞压力计标准装置，其测量范围为（1×102～1×104）Pa，扩展不确定度U 为0.20%～0.01%（k=2）；被核查标准静态膨胀法真空标准装置测量范围为（1×10-4～1×105）Pa，扩展不确定度U为0.8%（k=2）。
电容薄膜真空计具有优良的稳定性和重复性，常被用作真空标准之间的传递标准。这里传递标准选用美国MKS 公司生产的FS1.33 kPa 电容薄膜真空计，其测量范围为（1～1×103）Pa。在（1×102～1×103）Pa 范围，分别用高精密活塞压力计标准装置和静态膨胀法真空标准装置对FS1.33 kPa电容薄膜真空计校准，校准数据见表1 和表2。
表1 高精密活塞压力计标准装置校准数据
表2 静态膨胀法真空标准装置校准数据
注：修正因子＝标准值÷被校值。
表1 中，用高精密活塞压力计标准装置校准电容薄膜真空计的平均修正因子为1.002 1；表2 中，用静态膨胀法真空标准装置校准的修正因子为0.998 2。根据式（1）计算二者的偏差为0.39%，小于静态膨胀法真空标准装置的扩展不确定度0.80%，该标准装置技术状态正常。
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