真空规比对标准装置期间核查方法
2009-05-29 赵光平 兰州物理研究所真空低温技术与物理国家级重点实验室
真空规比对标准装置是采用动态或静态直接比对法校准真空计，是一台操作方便、使用效率高的真空标准装置。对真空规比对标准装置采用比对法进行期间核查。
比对法有2 种情况，一种是2 台设备技术指标相同，另一种是2 台设备技术指标不相同，其中技术指标低的为被核查设备。
1、技术指标相同
2 台技术指标相同的测量标准进行比对，比对结果差值为y-y0，应满足式（3）
2、技术指标不同
2台技术指标不同的测量标准进行比对，比对结果差值为y-y0，应满足式（4）
式中U0 为技术指标高的测量标准的扩展不确定度；uc0 为技术指标高的测量标准的合成标准不确定度
选用静态膨胀法真空标准装置对真空规比对标准装置进行期间核查，这2 台标准技术指标不相同，其中真空规比对标准装置的技术指标低。
分别用静态膨胀法真空标准装置和真空规比对标准装置对同一台美国MKS 公司生产的1.33 kPa 电容薄膜真空计校准，校准数据见表4、表5。
表4 静态膨胀法真空标准装置校准数据
表5 真空规比对标准装置校准数据
表4 中，用静态膨胀法真空标准装置校准电容薄膜真空计的平均修正因子为1.003；表5 中，用真空规比对标准装置校准的修正因子为0.998。根据式（4）计算得到二者的偏差为0.8%。
静态膨胀法真空标准装置的扩展不确定度U 为0.8%，真空规比对标准装置的扩展不确定度为3.4%，根据式（4）计算得
二者的偏差为0.8%，小于3.5%，则真空规比对标准装置技术状态正常。
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