DL-10型真空计产品使用说明书
2009-06-08 王逊 北京大学电子学系
一、 概述
DL-10型真空计是石英晶振真空计。它的量程较宽，精度较高。该真空计由规管与控制单元组成，控制单元的数码管显示压强值。
二、 技术要求
1、 测量范围：10—105Pa
2、 电源：交流 220V,50Hz
3、 功率：7W
4、 机箱尺寸：200×90 ×160mm（宽×高×深）
三、 原理
DL-10型真空计是应用石英晶振的谐振阻抗与 气体压强有关的特性做的真空计。石英晶振装在铝壳中做成规管，管 径为15.5mm，可通过接口插入系统。谐振阻抗的测量电路如图1所示 ：
VAB为晶振两端电压
I 为流过晶振的电流
电流I流过与 晶振串联的电阻R，在电阻两端的电压为VBD
VAB 近似等于AC两端电压 V0,VBD近似等于DC两端电压V1，由测量的 V0，V1值及电阻值，可以计算出阻抗。单片 机将阻抗转换成压强，由数码管显示压强值。
四、DL-10真空计的安装
DL-10真空计的安装如图2所示：
石英晶振及振荡电路放在探头内，引线电缆通过 5芯插头插入控制单元后面板的插座内，探头Φ15.5直径的管道插入 真空系统。电源电缆一头插入控制单元后面板插座，另一端插入电源 插座。电源插座应含接地线，使控制单元机箱接地。打开电源开关， 控制单元数码管显示压强值。数码管显示3.2 E 2 表示压强值 为3.2×102Pa 。
五、校准
当环境温度变化时，应对DL-10进行校准，校准方法如下：
1、大气校准：在规管压强为大气时，用改锥按 压控制单元前面板大气孔内的按键，松开后即可。
2、零点调节：在规管压强小于1×10- 2Pa时，用改锥按压控制单元前面板零点孔内的按键，松开后 即可。
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