真空计量的最新进展

　　真空计量的最新进展

　　李得天

　　(中国航天科技集团公司五院510 所)

　　摘要：介绍了在真空计量研究领域取得的最新进展。提出了非蒸散型吸气剂技术消除器壁放气影响来延伸静态膨胀法真空标准校准下限的方法，为静态膨胀法的研究提供了另一条思路。

　　以惰性气体作为校准气体时，非蒸散型吸气剂既维持了校准室中的高真空本底，又不改变校准室内惰性气体的气体量，从而保证气体静态膨胀时玻-马定律严格成立，使标准压力能够准确计算，将校准下限延伸到了10^-7 Pa量级的超高真空范围。

　　提出了分流法校准超高/极高真空规的新方法。分流法是将气体微流量计提供的气体流量引入到一个分流室，再通过分流室上的两个分子流导相差较大的小孔分流，只有极小部分的气体流量被分流到极高真空校准室中，从而产生了10^-10 Pa的动态平衡压力。提出了固定流导法测量极小气体流量的新方法，并成功应用于极小漏率真空漏孔的精确校准之中，从而避免了四极质谱计的非线性影响。