气体微流量测量技术的研究现状及发展趋势

气体微流量测量技术的研究现状及发展趋势

成永军 李得天 冯 焱 赵 澜 张涤新

(中国航天科技集团公司五院510 所)

　　摘要：在真空技术应用中，气体微流量由气体微流量计测量和提供。在真空计量实验室中，气体微流量主要用于动态流量法真空校准系统标准压力的产生、漏孔漏率的测量以及真空泵抽速的测定等。

　　本文对国内外在气体微流量测量领域的研究进展进行了全面介绍，包括采用定容法、恒压法、固定流导法以及分离流量法测量气体微流量，并就各种方法的测量范围和限制因素进行了分析。近年来，随着真空应用对真空计量不断增长的需要和越来越高的要求，使真空计量的研究领域不断扩大、参数不断扩充、量程不断拓展、不确定度不断减小。气体微流量测量技的研究重点也放在不断延伸测量下限、减小测量不确定度上。在气体微流量的测量中，流量计中充气压力测量引起的不确定度是流量测量中最主要的不确定度分量之一，减小测量压力引入的不确定度就显得尤为重要。

　　国外科研人员首次提出采用激光折射法通过测量流量计中的动态气体密度来实现对充气压力的精确测量，而我们项目组首次提出了基于静态膨胀法真空标准的气体微流量测量方法，流量计中的充气压力通过静态膨胀法真空标准直接产生，不但会大大减小压力测量引入的不确定度，而且会进一步延伸气体微流量的测量下限。