便携式真空校准装置

便携式真空校准装置

卢耀文¹ 陈旭¹ 李得天² 齐京¹ 查良镇¹

(1.清华大学，北京 100084; 2.兰州物理研究所，甘肃 兰州730000)

　　摘 要：为了解决许多应用领域对真空计的校准需求，研制出便携式真空校准装置。采用直径为200mm 的球形容器作为校准室，用两台不同量程的电容薄膜规作为参考标准，将静态比对法、静态膨胀法及动态流导法集成在一台装置上，实现1×10⁵～4×10-6 Pa 范围对真空计的校准。

　　静态比对法的校准范围为1×10⁵～5×10^-1 Pa ，合成标准不确定度为1.3%;静态膨胀法的校准范围为5×10^-1～5×10^-3 Pa，合成标准不确定度为1.5%;动态流导法采用两个不同流导小孔衰减压力实现的校准范围为5×10^-3～4×10^-6 Pa，合成标准不确定度为3.7%～4.7%。

　　装置的外形尺寸为长×宽×高=450×400×750mm,总重量小于40 公斤，具有体积小、重量轻、成本低、便携等优点。

　　关键词：真空计;计量;校准;便携式