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贝塞尔盒能量分析器规计量特性研究
本文对贝塞尔盒能量分析器规在N2、Ar、He三种单一成分气体中10-9 ~10-3Pa 范围内的灵敏度、稳定性、抽气与出气效应以及ESD效应等计量特性开展研究,评价A-T规的性能。
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