陶瓷表面金属化残余气体分析

2013-03-21 王辉 东南大学电子科学与工程学院显示中心

陶瓷表面金属化残余气体分析

王辉，肖梅，张晓兵

(东南大学电子科学与工程学院显示中心 南京 210096)

　　摘要：在真空系统中，残余气体是影响真空工艺性能及真空器件寿命的重要因素。陶瓷是一种疏松的原材料，在加工陶瓷材料的过程中，容易吸附各种各样的杂质。

　　实验采用的两种金属化陶瓷样品，基底均为素烧氧化铝陶瓷，一是先进行过高温金属化镀银后电镀金样品，二是化学镀Ni的样品。使用四极质谱计对加热前后的样品进行测试,分析放气特性。