直接比对法质谱计校准装置

        直接比对法质谱计校准装置如图1所示。校准装置通过一个阀控制引入的气体流量, 这种技术不需要知道气体流量, 校准装置包括被校质谱计和参考标准规, 参考标准规推荐采用磁悬浮转子规(SRG)和电离规(IG)。

        磁悬浮转子规和质谱计的测量范围都受到限制,但它们有足够的重叠范围,因此是一种较好的校准方法。两种参考标准规都是全压力规, 且灵敏度都与气体种类有关, 因此, 只能用单一气体进行校准。质谱计和参考标准规应正确安装,以保证压力相同。

1. 分压力质谱计　2. 校准室　3. 微调阀　4. 参考标准规　5. 气源　6, 10. 隔断阀　7, 9. 机械泵　8, 11. 热传导规　12. 分子泵　13. 放气阀

图1　直接比对法校准装置原理图

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