一种四极杆质谱仪真空测量及控制系统的测试结果

2017-06-13 李凯 钢研纳克检测技术有限公司

　　以四极杆质谱仪真空测量及控制系统应用在钢研纳克检测技术有限公司的PlasmaMS 300 仪器为例。在仪器不同的工作状态时，对接口单元、透镜单元和四极杆单元的真空进行了测量，软件界面如图8 和图9 所示。

一种四极杆质谱仪真空测量及控制系统的测试结果

图8 真空待机状态下各部分真空显示

　　图8 为仪器真空待机状态时，接口单元、透镜单元和四极杆单元的真空值显示。

一种四极杆质谱仪真空测量及控制系统的测试结果

图9 真空就绪状态下各部分真空显示

　　图9 为真空就绪状态时，接口单元、透镜单元和四极杆单元的真空值显示。其中a 部分为仪器工作状态，b 部分为真空系统的真空值。