静态膨胀校准低真空计方法

2020-05-06 真空技术网真空技术网整理

　　1910年克努曾最早提出静态膨胀法压力校准系统。静态膨胀校准低真空计时，因为容器壁吸、放气不显著，校准精度较高。在高真空校准时，由于器壁吸、放气显著，必须设法减小其影响。此方法制作简单、操作方便、运算迅速、检定效率高，且排除了汞蒸气对人的危害。

　　膨胀法校准是基于波意耳定律，即在恒定的温度下，一定质量的气体的压力与体积之积为一常数。

图29：单级膨胀系统工作示意图

　　单级膨胀系统工作示意图见图29所示。首先将气源室中充有需要压力为p1的校准气体，由标准真空计G2测量。再将校准室抽气至低于校准压力下限两至三个数量级。这样可略去校准室本底压力对校准的影响。

　　每操作一次传递阀K4，就将由气源室中的压力为p1容积为传递容积Vs的气体输送到校准室。第一次膨胀后，校准室压力见式27。

　　第n次膨胀之后，校准室的压力pn见式28。

　　此法计算简单，如校准高真空可用双级膨胀。