动态流导法校准真空计的方法

2020-05-06 真空技术网真空技术网整理

　　动态流导法有时也称为动态流量法和小孔法校准，它是建立在气流连续性原理、分子流状态和等温条件基础上的，由于是动态校准，吸气和放气的影响很小。在分子流状态下，流导公为结构几何尺寸的函数，与压力无关。其校准下限随真空获得和小流量测量水平而延伸。是目前超高真空和极高真空的切实可行的校准方法。

　　动态流导法校准原理是根据气体分子运动论原理，利用薄壁小孔作标准流导产生已知低压力的。

图30：动态流导法校准真空计的方法

　　图30是这种校准方法原理示意图。首先将校准室压力抽至校准压力下限以下2～3个数量级，这样计算校准压力时可忽略本底的影响。校准气体以稳定流量pG通过针阀K，由进气管注入校准室。气体以分子流流经一薄壁小孔并由真空系统抽除。在达到动态平衡时，在小孔上方的校准室建立起已知的低压力p，用它来校准真空计G。校准室的压力可由式29计算。

　　由于系统的有效抽速比小孔流导大很多，故使得小孔下游的压力户。远小于校准室压力p，这样小孔下游压力测量值误差对校准压力的影响很小。因此，只要根据校准气体流量qG、小孔流导C和小孔下游压力pb，就可以计算出校准室压力来。

　　校准气体的流量qG由流量计测量。流量范围为10-7～10-3Pam3s-1，其测量精度可达士O.5%，压力校准范围是10-5～lO-1Pa。

　　由于很难测定微小的流量，也就直接限制了校准压力下限。采用分流的办法，能扩展压力校准下限，这就是二级动态流导校准法。