真空阀门设计时的注意事项及结构计算方法

2013-03-24

　　真空阀门是真空系统的重要元件。对于构成管路一部分的阀门，其流导大小是一个重要的性能参数。对于主要用来起开关气路作用的阀门，阀板关闭的密封性能也是重要的性能参数之一。密封性能是用其漏气率来衡量的。对于主要用来调节气流大小的阀门，能够调节气流量的精度及范围，则是一项重要的性能参数。对于全金属超高真空阀门，每次关闭是否性能稳定?使用寿命是否长?是其主要的性能指标。

(1)对真空阀门的一般要求

　　①阀门的密封性能要好，阀板密封处的漏气率要小;

　　②阀板开启后应尽可能有较大的流导;

　　③阀门内所用材料应有较低的饱和蒸气压，高抗腐蚀性能和高化学稳定性、耐磨损、寿命长，超高真空阀门应能耐烘烤(400～450℃);

　　④阀门结构要简单，开关轻便省力，有标志，传动机构在高压侧;

　　⑤真空阀门的型式、基本参数、连接尺寸和技术条件应按国家专业标准执行。

　　(2)阀板的密封结构和密封力计算

　　①胶垫密封结构及密封力的计算

　　橡胶垫圈密封是利用阀板与阀座间压紧橡胶垫圈，依靠橡胶弹性变形填塞表面不平来实现的密封。目前真空阀门的胶垫密封归纳起来有6种，如图18所示。前4种用于较大口径的阀门，后2种用于较小口径的阀门。a种是早期采用的结构，为了便于加工阀座上的密封槽，必须把阀座与阀壳设计成可拆卸的，这就在结构上增加了一道真空密封。现在绝大多数阀门都采用阀板上带密封圈的结构，如图中(b)、(c)、d)所示。

　　选择真空阀门的密封结构时应注意以下几点：a.尽可能减少阀板下高真空侧的放气因素，例如选用放气率小的密封垫材料等.b.关阀后密封圈截面上有最大的压缩变形.c.结构力求简单;d.制造方便;e.密封元件便于拆卸和修理。

　　阀门关闭的密封性能好坏决定于密封垫填塞阀座表面不平的程度。影响这种填塞程度的因素有二方面：a.密封垫材料的硬度和压紧程度;b.阀座表面的粗糙度。通常阀座表面的粗度都高于3.2/Δ，密封垫的硬度都在邵氏硬度55～75之间。密封垫的压紧程度，根据试验结果，当橡胶的硬度在邵氏硬度50以上，而表面没有任何擦伤时，橡胶垫的高度压缩比在15%以上就能达到漏气率小于1.33×10-7Pa·L/s·cFn。的密封性能。如果考虑到制造精度上允许的偏差·把压缩比适当提高一些是必要的。因此建议真空阀门密封垫的相对压缩比通常取为15%～25%。

　　胶垫密封闷板的密封力计算，多数可按0形环在矩形槽中受压缩的密封力进行近似地计算

　　Fs=σBL =σxEBxπdDN (1)

　　式中σ-密封比压力，N/cm2;B-密封宽度，即密封圈与阀座的接触宽度，cm;L-密封圈平均周长，cm;σx-相对比压力;E-密封圈材料的相氏模量，N/cm2;Bx-密封圈的相对宽度，d-密封圈的线径，cm;D-密封槽的中径，cm。

　　有些阀门只需要单向使用，例如扩散泵入口阀门，阀板只需要封住扩散泵中的真空状态。这种阀的设计，结构上允许阀板在压力差作用下继续被压紧。因此，阀板关闭时只需要初始压紧力就可以。我国1968年真空阀门联合设计中提出，在上述情况下，密封的初始比压力可以取为20N/cm。。实践证明，这种做法是可行的。故这种阀门的初始密封力为

　　Fs=20BLN (2)

　　式中B-与密封比压力为20N/cm2相对应的胶垫密封宽度，cm;L-胶垫的长度，cm。

　　有些阀门需要双向使用，既不但需要封住阀板上方的大气压，有时还得封住阀板下方的大气压。这种阀门的阀板密封力应用下式计算：

　　Fs=σBL+7.85×10-5D2PdN (3)

　　式中Pd是大气压强，Pa;其余符号同前。

　　②金属垫密封结构及密封力计算

　　图19给出金属垫密封的几种结构。其中图(a)即是针阀的结构。图(b)、(c)、(d)和(e)都是用于超高真空系统中的金属垫密封阀门。

　　一般来说，阀板用软金属紫铜、无氧铜、铝、镍和铅等制成，铜、铝、镍要预先经过退火处理。阀座用硬金属不锈钢等制成刀口形。图(f)、(g)和(h)是用低熔点的软金属及其合金作为密封材料，而阀座也是用硬金属不锈钢等制成。它们都是依靠软金属受压产生塑性变形与阀座密合达到密封的。为保证密封，每次阀板关闭时刀口的压痕必须重合。为此除了阀板的传动上应有精确的导向机构外，刀口尖还应倒圆。如图20所示，倒圆半径一般有两种：R0.1mm和R0.2mm，多数取为R0.1。图(g)没有刀口压痕问题，密封垫的寿命较长。