隔膜式真空阀的结构与原理

　　隔膜式真空阀是利用阀杆将橡胶隔膜直接压在阀座上，用来截止或接通气流。它常装在被抽真空容器与各种低真空泵之间。典型的隔膜式真空阀结构图如图1所示。

图1 隔膜式真空阀

1—手轮；2—阀杆螺母；3—阀杆；4—阀芯； 5—阀盖；6—隔膜；7—阀体

　　隔膜式真空阀的动作原理是旋转手柄使阀杆向下运动，将橡胶隔膜直接压在阀座上，截止气流。反方向旋转手轮，阀杆向上运动，带动橡胶隔膜离开阀座，接通气流。

　　阀门主体采用铝合金铸造。结构简单、质量轻、体积小，密封性能良好。采用丁腈橡胶的隔膜真空阀，用于前级和预抽低真空管道上及温度-25～80℃的非腐蚀性气体。采用氟橡胶的隔膜真空阀，可用于高真空系统，使用温度范围为-30～150℃。