角阀的工作原理及结构示意图

2019-10-05 郭方准 实用真空技术

　　角阀的气体通路呈90°，密封面采用氟胶圈密封方式，通过波纹管实现真空中的直线驱动。该阀门体积小、安装方便，主要用于真空系统中的排气管路连接，特别是和机械泵的连接。

　　有时也需要能直接连在超高真空腔体上，用做气体导入或差分抽排气的CF法兰角阀。能满足这种功能的角阀是全金属角阀，内部密封面采用无氧铜和不锈钢刀口的密封组合，可耐300℃以上的高温烘烤。

　　图1 分别是氟胶圈角阀和全金属角阀的示意图。

氟胶圈角阀和全金属角阀的示意图

图1 氟胶圈角阀和全金属角阀的示意图