针阀的工作原理及结构示意图
2019-10-05 郭方准 实用真空技术
针阀的气体流通管路上设置有小的孔口，调节针状密封轴和孔口的距离就可以连续改变流路的导通率，以达到控制气体流量的目的。图1是针阀的示意图。
图1 针阀的示意图
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