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VOD炉精炼不锈钢真空度调节方式的优化
VOD炉精炼不锈钢时,钢液入炉时C、Si含量过高是导致吹氧过程喷溅事故的直接原因,采用优化后的真空度调节方式,能够有效地预防吹氧过程的喷溅事故,提高VOD冶炼质量和效率。
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40万t/a合成氨装置凝气系统表冷器真空度偏低原因分析及技改措施
介绍了装置凝气系统的组成和工艺流程;叙述了表冷器真空度偏低的情况;分析了真空度偏低的原因;提出了更新表冷器抽气器、改用中压蒸汽、替换疏水器等技改措施。
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本底真空度和残余气体对集成电路金属薄膜淀积的影响
研究表明设备真空腔体微漏和极微量的残余气体对Al,W 金属薄膜质量影响很大。从设备的角度提出改善真空度、减少残余气体的措施, 这些措施在实际生产中得到了验证和应用, 达到减少设备停机 时间, 减少产品缺陷, 提高
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真空校准装置的极限真空度获得方法
从极限真空度的测试结果看, 选择磁悬浮涡轮分子泵与NEG 泵组合方案, 在XHV 校准室中获得了10-10Pa 量级的极高真空度, 达到了预期效果, 为实现超高/极高真空校准奠定了基础。
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