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离子轰击对HIPIMS制备TiN薄膜结构和性能的影响
本文采用HIPIMS技术制备TiN薄膜,通过调整基底旋转方式控制基体是否接受离子持续轰击,进而研究离子轰击对薄膜结构、表面形貌以及性能产生的影响。
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活塞环表面CrMoN复合薄膜的结构及摩擦学性能研究
本文采用闭合场非平衡磁控溅射技术,通过改变Mo靶电流值大小在活塞环表面制备了不同Mo原子百分含量的CrMoN复合薄膜,并对其化学成分、相结构、表面形貌进行研究。比较研究了电镀Cr活塞环与CrMoN复合薄膜活塞环的硬度
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射频磁控溅射法制备TiSiN纳米复合涂层的结构与性能研究
本文采用工业上较为常用的射频磁控溅射工艺制备了TiSiN涂层,系统研究了不同溅射气压、不同基片温度以及不同N2/Ar气流比条件下TiSiN纳米复合涂层的微观结构与力学性能,并对TiSiN涂层的溅射工艺进行优化,以期为该涂
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香蕉片微波真空干燥的工艺参数优化
本文以福建省主栽名优香蕉品种天宝香蕉果实为原料,重点研究香蕉片微波真空干燥的最佳工艺参数及其对香蕉片产品色差、脆度、膨化率和感官质量等品质的影响,旨在提高香蕉片干制品品质,为应用微波真空干燥开发新型香
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真空管道中高温超导磁悬浮车运行时的振动能耗特性
文中讨论磁浮车在这种轨道上的动能损耗与磁浮车运行速度的关系。将一定真空环境中运行着的高温超导磁浮车的这种振动近似为弹簧的阻尼振动,然后根据高温超导体的特性及相应测量值来确定其刚度系数与阻尼系数,从而考
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直流电弧等离子蒸发法制备纳米银粉及其表面改性
本文制备的银粉平均粒径为54nm,粒径分布在5~220nm区间,测试其在无水乙醇中的pH-zeta电位,并系统研究了表面活性剂种类、加入量及超声时间对银粉分散性能的影响,将该粉体应用在导电浆料中测试其电性能,并对其分散
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高真空多层绝热低温储罐中含PdO的吸气剂在77K下吸附性能的研究
本文以BET(Brunauer-Emmet-tTeller)等温式为基础,再利用统计热力学方法,建立吸气剂吸附等温线的理论模型,并利用实验数据对该模型进行验证和分析,借此评价它的准确性和适用范围,进而从理论上获得吸气剂的吸附机
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蓝宝石镀Ti/Ni复合膜及高温预扩散的研究
本文主要研究了900 ℃ 下, 不同膜厚的镀Ti/ Ni蓝宝石在不同的保温时间下的扩散效果, 研究了表面成分及微观结构与其镀膜厚度的关系, 从而总结出蓝宝石的最佳镀膜厚度及高温预扩散工艺规律,该规律对今后的实践应用
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铝合金表面磁控溅射Cu膜的镀制及其低温钎焊性能研究
Ti作为过渡层可改善膜基结合力,本文采用离子注入技术与磁控溅射镀膜结合的方法对铝合金进行表面改性,主要考察了磁控溅射镀膜中基体偏压对薄膜沉积速率、表面形貌、相结构以及低温钎焊性能的影响。
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微晶硅薄膜材料的沉积以及微结构与光电特性的研究
本文采用RF-PECVD技术,在较高的射频功率和沉积气压条件下,通过改变硅烷浓度和衬底温度等参数,制备微晶硅薄膜材料。研究了沉积参数对微晶硅薄膜材料的微结构以及光电特性的影响,并研究了它们光电特性及其相关性。
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等离子体增强原子层沉积系统及其应用研究
关于ALD技术和工艺的研究已经较为深入,关于PEALD技术和应用的研究也越来越受到研究者的关注。为了深入研究PEALD的关键技术和工艺条件,作者设计了一套远程脉冲PEALD系统,并首次探索了其在原位沉积氮掺杂纳米TiO2可
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直流热阴极PCVD法间歇生长模式制备透明金刚石膜
采用直流热阴极PCVD技术,进行了甲烷和氢气条件下加入氮气制备透明金刚石膜的研究,主要是通过设置刻蚀步骤,改变温度和时间参数,在间歇生长模式下使氢和氮原子共同作用,实现对非金刚石成份的刻蚀和金刚石的择优取
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影响真空溅射用射频电源特性因素的研究
本文主要研究了射频电源的功率转换效率和频率稳定性的影响因素,分析了E 类功率放大器的工作特性,推演了最大输出功率;设计了射频电源驱动级电路,并对其进行了实验测试。
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外延BiFe0.95Mn0.05O3薄膜的结构和性能研究
本文选择用5%的Mn离子代替BiFeO3中的Fe离子,用磁控溅射的方法在SrTiO3单晶基片上外延生长了BiFe0.95Mn0.05O3薄膜,探索制备外延薄膜的最佳工艺条件,分析沉积温度对薄膜结构和电学性能的影响。
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酸化纸质文物水溶液真空脱酸和冷冻干燥试验研究
为了提高纸质文物的脱酸效率并改善脱酸后纸质文物的干燥效果,本文将以真空脱酸的方式对纸质文物进行高效脱酸,并采用真空冷冻干燥技术对脱酸后的纸质文物进行冻干,为批量纸质文物脱酸干燥提供经验。
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