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无栅网离子源的工作原理
无栅网离子源的工作原理类似于磁控溅射,阳极偏压在磁力线束缚电子的区域产生高密度等离子体(high ne ionization region),离子的飞行轨迹不受磁场的影响,在偏压VDC作用下加速向阴极飞行,在开口处形成能量为VDC离子束,
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电子回旋共振(ECR)离子源的工作原理
ECR离子源微波能量通过微波输入窗(由陶瓷或石英制成) 经波导或天线耦合进入放电室, 在窗上表面的永磁系统产生的高强磁场作用下, 放电室内的气体分子的外层电子做回旋运动。
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RF-CCP(电容耦合) 和RF-ICP(感应耦合)离子源的结构原理
电容耦合方式是由接地的放电室(由复合系数很小的材料如石英做成)和引入的驱动电极作为耦合元件,射频ICP源的发射天线绕在电绝缘的石英放电室外边,当通过匹配网络将射频功率加到线圈上时,线圈中就有射频电流通过,于是
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Kaufman低能宽束离子源的结构原理
Kaufman离子源是由阴极(Cathode)、阳极(Anode)、栅极(Grids)、放电室圆筒构成气体放电室(Discharge Chamber),栅极构成离子光学系统。
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红外低辐射膜的典型膜层结构
低辐射薄膜的中间金属层起着反射红外线的重要作用,一般选用银,因它在对红外光具有较高反射率的同时,对可见光还具有较高的透射率,按银膜的数量可分为单银膜 、双银膜和多银膜,每层银膜厚度一般在10~18nm之间。
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射频识别系统在冻干工艺的应用
按照冻干工艺的需要,在射频卡中写入物料的种类、形状、分切方式、冻干层厚度、面积、加热方式、搁板层数等相关参数,再把射频卡贴在需要冻干的物料上。当贴有射频卡的物料进入安装在冻干机上的读写器的工作范围,读写
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宽禁带半导体ZnO薄膜的制备工艺
ZnO薄膜的制备方法有多种,大致分为物理法和化学法,可以满足不同的需求,由于化学稳定性好,良好的机电耦合性,工艺简单,这使得ZnO 薄膜在近年来受到越来越多的重视,成为化合物半导体领域中的一个研究热点,基于ZnO的器
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热处理和掺杂对TiO2薄膜折射率的影响
随着热处理温度的升高,薄膜折射率也逐渐增大。850℃热处理后的氧化钛薄膜折射率最高为2.34。适量掺杂CeO2会提高薄膜的折射率,过量掺杂CeO2反而会降低折射率。
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有机玻璃蒸发镀铝的实验结果及铝膜分析
增加铬过渡层的样品, 铝膜结合的非常牢固, 附着力得到很大的提高。 采用电子束蒸发技术, 在使用合适的工艺参数下, 可以在有机玻璃表面制备附着力好、耐腐蚀的高反射铝膜。
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