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ZnO∶Mo薄膜的电学性能分析
ZMO薄膜的电阻率随Mo离子掺杂量的增大而减小,在Mo 掺杂1.5wt% 时薄膜电阻率最小,为1.97 ×10 -3 Ω·cm, 而大于1.5wt% 时薄膜的电阻率逐渐增大
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高纯度药用盐关键工序操作技术介绍
通过多年的工作实践,对传统药用盐生产工艺、设备、技术等不断进行改造、更新,不但使药用盐产品质量在国内同行业中处于领先位置,同时依据本技术生产的高纯度药用盐质量已完全符合发达国家标准,大大提高了产品的市
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真空吸盘吊的真空系统的工作原理
真空吸盘吊的真空系统配置三台真空泵,每台真空泵各联通一条管路分别到达真空吸盘的内圈和外圈,同时工作,相互独立。真空度形成顺序:吸盘腔→手动球阀→电接点真空表→空滤器→真空电磁换向阀→真空表→真空挡板阀
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常见的改善铸铁件整体性能的热处理方式
为改善铸铁件整体性能常有消除白口退火,提高韧性的球墨铸铁退火,提高球墨铸铁强度的正火、淬火等。铸铁件热处理只能改变基体组织,不能改变石墨的形态及分布,机械性能的变化是基体组织的变化所致。
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类金刚石薄膜的反应离子刻蚀的最佳刻蚀条件
研究了类金刚石薄膜的反应离子刻蚀工艺。对刻蚀工艺参数如刻蚀时间、有无掩膜、反应气体的混合比、负偏压等对刻蚀的影响做了较详尽的研究。根据刻蚀规律。成功制备出“独立”微齿轮, 并进行组装。
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工艺参数对类金刚石薄膜刻蚀速率的影响
工艺参数对类金刚石薄膜刻蚀速率的影响,刻蚀率相对稳定基本不随时间变化,有无掩膜对刻蚀率影响不大,刻蚀率随着氩体积百分含量的增大而降低。随着负偏压的增大先增大后减小。
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类金刚石薄膜的反应离子刻蚀实验
本文对电子回旋共振(electron cyclotronresonance,ECR) 微波反应离子刻蚀类金刚石薄膜进行研究,研究了主要工艺参数对刻蚀率的影响,刻蚀出结构完整、失真度小、独立的微齿轮,并进行了组装。
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