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气体捕集真空泵

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推荐集成电路制造中低温泵的应用及产品发展现状

本文介绍了国内集成电路制造中进口低温泵产品的技术发展现状，并对比了不同产品的技术特点。阐述了国产低温泵进军集成电路制造业的历程与现状。

氦气压缩机的泄漏对低温泵抽气性能的影响

氦气压缩机润滑油的泄漏和氦气压缩机的氦气泄漏会导致低温泵氦气的压力持续降低, 最终会影响低温泵的抽气性能。
吸附捕集器(吸附阱)的技术特点

吸附捕集器(吸附阱)是利用某些物质具有吸附性能（物理吸附和化学吸附）的原理来捕集可凝性蒸汽的一种捕集器。常用的吸附剂有：分子筛（沸石），活性碳，硅胶，Al2O3，P2O5等。本文给出了常见的吸附阱的结构原理图。
冷凝捕集器(冷阱)的抽速计算公式

冷凝捕集器(冷阱)对蒸气分子的抽速类似于低温泵的抽速，是指在捕集器中的蒸气压强下，单位时间内凝结在冷却壁上的蒸气体积。本文介绍了冷阱的抽速计算方法与公式。
冷凝捕集器(冷阱)的作用和典型结构

冷阱是利用低温冷壁来捕集可凝性蒸气的一种低温冷凝捕集器，冷阱的结构型式很多，就材质而言，有金属冷阱和玻璃冷阱两类。
机械捕集器的设计原则及其典型结构

机械捕集器阻挡住直线运动的蒸气分子穿越，使其在壁板上凝结或反射回去，用这种机械阻挡的方法消除或减少蒸气分子进入被抽容器，靠机械阻挡的方法来降低油蒸气的返油率。
挡油帽的作用与主要参数计算

挡油帽一般设置在扩散泵泵芯的一级喷咀上面，这样可以大大降低油蒸气的返流。但挡油帽降低了返油率，同时也降低了泵的抽速。因此挡油帽的设计就相当重要。