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超高/极高真空测量发展综述
介绍了热阴极电离规和冷阴极电离规的研究进展、新型室温电子源和真空的激光电离测量技术在超高/极高真空测量中的应用、小型化超高/极高真空电离规的发展以及我国在超高/极高真空测量方面的研究进展。
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恒压式气体微流量计的性能测试
介绍了恒压式气体微流量计的组成及性能实验。实验结果表明,气体流量的测量范围为(.96×10-9 to4.76×10-4)Pa·m3 / s,不确定度小于4%。标准漏孔的校准结果与德国PTB 校准结果的一致性好于1.3%。
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一种方便高效的真空规校准装置的设计
讲述了为解决一般采用比对法校准真空规的装置所存在的一次校准真空规数量较少,且由于校准表和被校表处在不同的抽空位置造成的读数误差等问题,所设计出的一套方便高效的真空规校准装置。
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静态膨胀法真空标准校准下限延伸方法研究
影响静态膨胀法真空标准校准下限的主要因素是器壁放气,本文提出了使用非蒸散型吸气剂泵(NEGP) 消除器壁放气影响来延伸校准下限的方法。这种方法将静态膨胀法真空标准校准能力的下限延伸到了10-7Pa 量级。
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