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DL-10型真空计的工作原理与测量范围
DL-10型真空计是应用石英晶振的谐振阻抗与 气体压强有关的特性做的真空计。选用的晶振是Φ2×6型,频率标称值为32.768KHz, 测量范围也是1Pa到大气压。
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超高真空比对校准系统的指标测试与模拟校准
经过对超高真空比对校准系统的指标测试与模拟校准,该装置具有结构简单、实用、不确定度小等优点,可以满足在10- 7~10- 5 Pa 范围内超高真空规的比对校准。
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电容薄膜规(CDG)热流逸效应修正方法
电容薄膜规(CDG)的测量下限主要取决于分辨率和零点稳定性,而温度的变化会对零点稳定性产生较大的影响。为了改善CDG的零点稳定性能,就必须减少外界温度变化对测量的影响。
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真空规原位校准装置的不确定度分量的分析评估
对真空规原位校准装置的不确定度来源进行分析评估,确定该装置的合成不确定度小于5%,扩展不确定度小于10%(k=2),符合国家二等真空标准不确定度小于10%的要求。
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真空规原位置校准原理和装置
真空规原位置校准装置校准真空计时,通过微调阀注入所需校准气体,当校准容器中所需真空度稳定后,用主标准器和被校真空计同时测量校准容器或真空系统中的同一压力值,将测得压力值进行比较。
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比对法真空计校准系统标定实验过程
在标定装置上开展标定实验,首先将校准真空室抽至极限真空5×10-6 Pa(尽量减小本底误差),然后依次在1E-4~1E-1Pa的每一个量级内测量若干个样本数据, 即在每一量级内,通过膨胀过程使真空度缓慢变化,以等间距地读取稳定
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真空校准系统校准真空计的主要步骤
真空校准系统是依据校准真空规的原理,将一支或几支参考规和若干支被校规,一同接到一个压力可调的校准容器上,进行比对校准的方法。采用的方法有动态比对法、静态比对法、静态膨胀法。
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