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推荐磁悬浮转子真空计工作原理图

根据磁悬浮转子转速的衰减与其周围气体分子的外摩擦有关的原理制成的真空测量仪表称为磁悬浮转子真空计。这种真空计是基于气体分子对自由旋转钢球的减速作用而工作的。

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    真空规原位置校准装置校准真空计时,通过微调阀注入所需校准气体,当校准容器中所需真空度稳定后,用主标准器和被校真空计同时测量校准容器或真空系统中的同一压力值,将测得压力值进行比较。

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    电离规管的结构为一个圆筒型三极管,它有三个电极:阴极F发射电子;栅极A加速电子,收集极C收集离子。校准电离真空计时,应注意本文提的六点。

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    在标定装置上开展标定实验,首先将校准真空室抽至极限真空5×10-6 Pa(尽量减小本底误差),然后依次在1E-4~1E-1Pa的每一个量级内测量若干个样本数据, 即在每一量级内,通过膨胀过程使真空度缓慢变化,以等间距地读取稳定

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