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利用静态膨胀法真空装置和质谱计校准标准漏孔
本文介绍了利用静态膨胀法真空装置和残余气体四极质谱计校准标准漏孔的方法,通过实验验证了该方法的可行性,并给出了该装置测量范围(10-5~10-7)Pa.m3/s,装置的最佳校准能力小于3.0%(k=2)。
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