装有贝塞尔盒型能量分析仪的电离规和四极质谱计的研制

装有贝塞尔盒型能量分析仪的电离规和四极质谱计的研制

传感芯片真空封装的质谱检测

通过对传感芯片封装前放气性质和封装后密封性能的质谱分析，了解样件的放气情况以及封装工艺和封装结构性能。

氕氘比CH/CD的四极质谱计测量

采用ELITESXP-50型低分辨率四极质谱计(QMS) 在不制备HD标样的条件下精确测量并计算混合气体中的氕氘分压比CH/CD的方法。

分压力质谱计校准装置

一台具有三路相同的独立进样系统的分压力质谱计校准装置

四极杆质量分析器的研究现状及进展

四极杆质谱计已成为一种技术相当成熟的商用仪器,其相关研究近年来呈现出上升趋势,体积小型化,分析对象不断扩大,仪器性能实现高分辨、大质量范围、快速分析以及成本低价化将是四极杆质谱计相关研究的主要趋势。

氢-氘体系的氘丰度质谱分析技术

四极质谱计灵敏度与离子源参数关系的实验研究

对质谱计离子源参数进行调节，可以优化质谱计的灵敏度并使之达到最大值

四极质谱计在高压力下的测量方法

通过对影响四极质谱计测量上限的因素进行分析，得到高压力下的分压力计算方法，并通过实验验证了该方法的可行性，得出的结论对高压力下四极质谱计的应用具有一定的参考价值。

恒压式气体微流量计的测量误差分析

对于恒压式气体微流量计, 测量过程中变容室的温度变化和压力变化对流量测量误差的贡献比较大。

分压力质谱计校准装置的不确定度分析

介绍了分压力质谱计校准装置的结构、工作原理及分压力测量方法，对分压力测量和灵敏度校准的不确定度进行了分析。

分压力质谱计校准装置的性能测试及校准实验

介绍了分压力质谱计校准装置的性能指标， 并用分压力质谱计校准装置校准了一台四极质谱计， 给出了灵敏度、 图样系数、 线性、质量刻度、分辨本领等校准结果，还研究了气体之间的相互影响。

分压力质谱计的校准

分压力质谱计的校准是一种没有完全解决的难题。本文介绍了校准分压力质谱计时应注意的问题并介绍了最新的四种分压力质谱计校准方法及相应的校准装置。

磁悬浮转子规在分压力测量中的应用

分析了磁悬浮转子规的测量特点，指出在分子流范围内，不同气体成分引起的磁悬浮转子规转速衰减率具有可线性迭加性。

飞行时间质谱仪射频四极杆驱动器的研制

针对自制垂直引入式飞行时间质谱仪的需要,运用直接数字频率合成技术,研制了射频四极杆的高压射频驱动电路装置。

四极质谱用于内燃机排气成分检测的研究

分析了四极质谱的基本原理, 介绍了采用四极质谱动态测量内燃机排气成分的方法及实现动态检测的系统方案和动态测试结果。采用上述方法对6108 柴油机进行了排气成分取样分析, 给出了发动机排放测试结果。

用四极质谱计定性分析残气成分的变化

四极质谱计是一种很有用的残气分析工具, 一般情况下它只能分析残气成分, 本文给出通过四极质谱谱图对比定性分析残气成分的实例。

分压强质谱计校准装置测量不确定度评估

为了评估分压强质谱计校准装置的不确定度，对作为参考标准的磁悬浮转子规进行了大量实验，包括磁悬浮转子规的长期稳定性、切向动量传递系数随气体种类和温度的变化等。

四极质谱计的计量特性研究

四极质谱计是一种分压力测量仪器，可广泛应用于残余气体分析和真空流量的测量，其计量特性需要深入研究。用N2、Ar、He 3种气体作为实验气体，对四台应用范围较广、具有一定代表性的商用四极质谱计的线性、长期稳定性

分压强质谱计校准装置的研制

分压强质谱计校准装置用于质谱计的校准。本文介绍了分压强质谱计校准装置的结构、工作原理及分压强测量方法，并给出了分压强测量的不确定度分析。

四极质谱计灵敏度与离子源参数关系研究

四极质谱计灵敏度与离子源参数关系的实验研究通过改变QMS422型四极质谱计离子源的发射电流、阴极电压和聚焦电压等参数值，测量了质谱计灵敏度的相应变化，给出并分析了实验结果。实验结果表明，对质谱计离子源参数进