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四极质谱计在真空检漏中的应用
介绍了使用四极质谱计进行真空检漏的原理和方法,分别对超高和极高真空系统做了检漏实验研究,并取到了满意的结果.四极质谱计检漏有检漏仪检漏无法比拟的优点,适合在真空工程中推广应用。
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