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正交电磁场离子源及其在PVD 法制备硬质涂层中的应用
本文介绍几种不同类型的正交电磁场离子源,并结合其在不同体系硬质涂层沉积过程中的应用,综述离子源的结构、工作原理;分析其产生的离子束对硬质涂层成分、结构、性能的影响。
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新一代太阳能集热板真空镀膜生产线系统的开发
采用连续式太阳能集热板真空镀膜生产方式,以提高集热膜层在大气中使用的耐候性能及集热性能为目的的膜层、膜系研究和设备结构的研制,是当前太阳能集热器光谱选择性吸收膜层研究、生产和发展的主要方向。
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制备工艺对磁控溅射Mo-N薄膜微结构和性能的影响
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真空碳热还原分解硫酸钙热力学分析及实验探究
本文提出对硫酸钙进行真空碳热还原分解研究,探究硫酸钙在真空条件下碳热还原分解热力学条件,并实验进行验证,以期达到降低硫酸钙分解能耗,合理利用工业废石膏的目的。
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