真空镀膜_真空镀膜原理_溅射镀膜_气相沉积

真空镀膜

真空技术网>真空应用>真空镀膜>

推荐电镀污水中有机污染物去除工艺

电镀废水中的有机污染物来源主要有3个方面：镀前处理、电镀过程和镀后处理。污水中有机污染物的3种去除方法：生化法、微波化学法和物化法。

Ti-Al-Si-N涂层界面微结构研究

采用多元等离子体浸没离子注入与沉积装置制备Ti-Al-Si-N涂层，借助X射线衍射仪、X射线光电子能谱、透射电子显微镜、纳米探针和原子力显微镜等系统研究涂层界面微结构与力学性能。
电弧离子镀与磁控溅射复合技术制备Ti/TiN/TiAlN复合涂层的组织结构与力学性能

采用磁控溅射和电弧离子镀技术，在高速钢基体上制备了Ti/TiN/TiAlN复合涂层。采用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、显微硬度计、微米划痕仪等方法研究了镀覆条件对复合涂层的形貌、组织结构和力学性能的影响。
钛表面等离子体氧化及其对细胞粘附增殖的影响

本试验在喷砂酸蚀工艺处理获得的钛片试样表面进行等离子体氧化，分析等离子体氧化后钛试样的表面形貌、化学组成、价键状态、亲水性和成骨细胞粘附增殖的情况。
原子层沉积制备VO2薄膜及特性研究

本文旨在利用ALD 技术，以VO(acac)2和O2分别作为钒源和氧源，以玻璃为基底，在实现饱和吸附的前提下，通过改变沉积条件以及退火条件来研究不同反应温度及退火条件对VO2薄膜结构及性能的影响，为后续VO2薄膜进一步研
ECR等离子体刻蚀增强机械抛光CVD金刚石

本文采用ECR等离子体刻蚀与机械抛光相结合的方法抛光CVD金刚石，并与单纯的机械抛光CVD金刚石相比较，发现在机械抛光中增加ECR等离子体刻蚀能明显增强机械抛光效率，特别是在机械抛光前期，组合抛光效率是机械抛光效
溅射气压对Li-W共掺杂ZnO薄膜性能的影响

本文主要在不同溅射气压制备得到Li-W共掺杂薄膜(LWZO) ，分析了溅射气压对LWZO薄膜的结晶性能、表面形貌、光学性能的影响以及电学性能的影响。
银修饰氮掺杂TiO2薄膜的制备及光催化性能研究

本文采用磁控溅射法制备不同Ag含量的氮掺杂TiO2薄膜，并分析其形貌结构、表面元素化学态、光学性能以及可见光催化活性，研究Ag的含量对薄膜性能的影响。
行星周转镀膜装置设计

针对现有的蒸镀圆柱形腔体杜瓦镀膜工艺存在工艺繁琐、膜层不均匀等问题，设计了行星周转镀膜装置。
电子束蒸发TiO2膜通氧量对薄膜光学性能的影响

文章研究了离子束辅助电子束蒸发镀制TiO2薄膜的通氧量对薄膜性能的影响，获得最优的镀制工艺以及最好的薄膜光学特性。
高温真空镀膜夹具的设计

对于要求整面镀膜的大规格玻璃面板，镀膜环境为高温的情况下，采用传统夹子夹持的方法，不能满足大规格玻璃整面镀膜的需要。提出一种新的思路，并设计了新夹具解决此问题。
多层HfO2/Al2O3薄膜基电荷陷阱存储器件的存储特性研究

本文利用多层HfO2/Al2O3薄膜作为存储层，借助脉冲激光和原子层沉积系统制备电荷陷阱存储器件，并对器件的存储特性进行了系统分析。
等离子喷涂涂层微观结构的蒙特卡罗模拟

本文使用蒙特卡罗方法建立随机模型预测等离子喷涂涂层显微结构及其孔隙率和粗糙度，并研究工艺参数对涂层孔隙率和表面粗糙度的影响。
氩气/空气辉光放电对聚乙烯薄膜的表面改性研究

利用氩气/空气混合气体辉光放电对聚乙烯(PE) 材料表面改性。
预热处理前驱体后硫化温度对Cu2ZnSnS4薄膜性能影响的研究

本文在优化过的预热处理条件的基础上研究了不同硫化温度对于制备的CZTS薄膜性能的影响。
DC-HCPCVD法低温低压下纳米金刚石膜的制备及生长特性研究

本文在CH4/H2气氛下，在低温低压下低成本生长纳米金刚石膜，研究所得纳米金刚石膜的组成结构特点，扩展直流热阴极PCVD法纳米金刚石膜制备工艺。
倒圆锥面基底蒸发镀膜均匀性理论分析

通过计算得出了蒸发源位于倒圆锥面正下方外部镀膜时锥面上各点的膜厚方程，并对整个锥面上膜厚均匀性进行了理论分析。
FePtAg-C纳米颗粒薄膜的制备及表征

利用磁控溅射法在热氧化硅基片上成功制成了FePtAg-C颗粒薄膜(其中有MgO籽层)，并利用XRD、SQUID和TEM分别表征其织构、磁性和微观形貌。
Si(111)基片上Mg2Si薄膜的脉冲激光沉积

本文采用PLD技术，在Si(111) 基片上制备Mg2Si薄膜，研究PLD工艺参数对Mg2Si薄膜制备的影响，通过工艺优化制备得到纯相、结构均匀、表面平整的Mg2Si薄膜。
NaCl结构VC薄膜生长过程中原子迁移的第一性原理研究

本文采用第一原理计算的方法研究了C和V原子在NaCl 结构VC 表面和晶体内部(111) 面上的迁移条件，并在此基础上讨论了工艺参数对薄膜生长的影响。
MgxZn1-xO薄膜的红外光谱及其表面浸润性

本文采用溶胶-凝胶法制备了不同Mg 含量MgxZn1-xO薄膜，研究了Mg 含量对MgxZn1-xO薄膜微结构和表面形貌的影响。