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溅射镀膜

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推荐磁控溅射铁磁性靶材的主要方法

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  • 溅射功率对金属化薄膜性能的影响分析

    溅射功率对金属化薄膜性能的影响主要表现在对成膜速率、薄膜形貌、薄膜性能等方面的影响，结合实验，分别分析了各个影响。

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