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PI衬底上电沉积Cu薄膜的晶面择优取向
采用硫酸盐电沉积法,利用X 射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)等手段研究了不同电沉积条件下在PI膜表面制备的Cu薄膜的晶面择优取向、平均晶粒尺寸及表面形貌。
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一种崭新的镀膜技术——等离子体束溅射
详细描述一种等离子体高效溅射系统及应用工艺。此种崭新的溅射技术结合了蒸发镀的高效及溅射镀的高性能特点, 特别在多元合金以及磁性薄膜的制备, 具有其他手段无可比拟的优点。
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新型等离子体束溅射镀膜机
本文介绍了新型的等离子体束溅射镀膜机的系统组成、特点、试验结果等内容。该镀膜机将等离子体发生和控制技术应用于溅射镀膜中,克服了磁控溅射的靶材利用率低及难以沉积铁磁性材料的缺点。
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不同衬底温度下预沉积Ge对SiC薄膜生长的影响
分别在未沉积Ge 和不同衬底温度(300、500、700 ℃) 沉积Ge条件下,利用固源分子束外延(SSMBE) 技术在Si衬底上外延SiC薄膜。通过反射式高能电子衍射(RHEED) 、X射线衍射(XRD) 、原子力显微镜(AFM) 和傅里叶变换红外光
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PET纤维基AZO透明导电薄膜溅射工艺参数的优化
室温下,结合正交实验表,用射频磁控溅射在涤纶(PET)非织造布基材上生长AZO(Al2O3:ZnO)纳米结构薄膜。采用四探针测量仪测试AZO薄膜的方块电阻,用原子力显微镜(AFM)分析薄膜微结构;通过正交分析法对实验L9(33)AZO薄膜的
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在线紫外辐照辅助沉积柔性ITO薄膜的研究
本文在射频磁控溅射过程中,引入在线紫外辐照,室温条件下在有机衬底上制备柔性ITO薄膜的工艺,其最低方块电阻为5Ω ,电阻率为2.5×10-4Ω·cm ,透光率为92% ,远远优于未采用紫外辐照制备的柔性ITO薄膜。
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ITO薄膜成份的深度分布和相结构XPS分析
用XPS测试经过磁控溅射工艺优化的ITO薄膜的结果表明:该ITO 薄膜的内部Sn 以SnO2 相存在,In 以In2O3 相存在,含量分别在518 %和85 %左右。
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ITO薄膜的磁控溅射关键工艺参数的优化
通过磁控溅射陶瓷靶制备ITO 薄膜的工艺实验,研究了基底温度、溅射电压、氧含量等主要工艺参数对该薄膜光电性能的影响。实验结果表明:当基底加热温度为295 ℃、溅射电压为250V、氧分压占镀膜室总压力的8 %即主要工艺
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