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Cu含量对脉冲偏压电弧离子镀TiN-Cu纳米复合薄膜硬度的影响
用脉冲偏压电弧离子镀技术在高速钢基体上制备了一系列不同Cu含量的TiN-Cu纳米复合薄膜,分别测试了薄膜的成分、形貌、相组成、硬度和弹性模量,重点考察薄膜成分对其硬度和弹性模量的影响。
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ZSN-800AG2电子束蒸发镀膜机程序化自动控制系统的设计
本文对ZSN-800AG2电子束蒸发镀膜机的控制系统进行了设计,重点对应用iFix 组态软件实现工艺过程用户可编程序化的动控制方法设计以及数据存储和趋势曲线显示等做了设计分析,完成了整 机的工艺试验。
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Si90Al10Nx薄膜的工艺控制及光学性能研究
通过改变磁控溅射过程中氩气与氮气的分压比,制备了多种不同厚度的Si90Al10Nx薄膜样品,并采用透射率轮廓法对样品在热处理前后的光学性能进行了测量和分析。
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温度对磁控溅射氮化钛薄膜光学性能的影响
本文采用能量过滤磁控溅射技术,通过改变沉积温度在玻璃衬底上制备了一系列TiN 薄膜。利用XRD进行了物相鉴定,使用分光光度计、椭圆偏振光谱仪和四探针电阻仪测试了TiN 薄膜的光学性能。
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基于正交试验法TiO2纳米薄膜的制备及光电性能的研究
以商业TiO2纳米粉为原料,将其充分研磨得到胶体,用刮涂和热处理的方法在氟掺杂氧化锡导电玻璃基底上制备TiO纳米多孔薄膜阳极,并组装成染料敏化太阳能电池。
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氧化镍溶胶-凝胶薄膜阻变特性研究
用溶胶-凝胶法在ITO基片上旋涂制备了NiO薄膜, 通过对ITO/NiO薄膜/GaIn器件进行伏安特性测试, 研究了溶胶浓度、退火、层数以及Cu掺杂等对其电学特性的影响。
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新型弧光辉光协同共放电(APSCD)真空镀膜机的研制
本文阐述了新型的弧光辉光协同共放电真空镀膜机的设计思想及应用,叙述了镀膜机的整体结构、圆柱靶的设计和磁场模拟、工件篮的结构和辉光弧光共放电的原理。
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基片温度对脉冲激光沉积CNx薄膜的组织结构和摩擦学性能的影响
采用脉冲激光烧蚀氮化碳薄膜靶,在室温至450℃基片温度下制备了CNx薄膜。利用扫描电镜、X射线衍射仪、X射线光电子谱仪和拉曼光谱仪等对薄膜的形貌、结晶性和结合键状态进行了表征。
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